磷酸清洗水(典型的含有20-35%磷酸浓度)直接进入净化单元 DPU)，这个单元已在工厂预先撬块组装好了，包括两个树脂床、管线、阀门以及控制系统等。
这个单元将阳离子交换器同可水洗再生酸液的树脂床(APU)结合在一起，提供更为经济的磷酸清洗水去除溶解铝的净化过程。DPU只耗用传统阳离子交换器再生时使用硫酸量的15%。净化后的清洗水，在专门设计的真空蒸发器被浓缩为85%的磷酸溶液，再次回到抛光槽内使用。
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