通过UV光解把有机废气完全分解，改变恶臭气体如：醇类脂类、VOc类，苯、甲苯、二甲苯等的分子链结构，使有机高分子恶臭化合物分子链，在高能微波照射下，降解转变成低分子化合物，如CO、H。O等。利用高能微波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，产生氧离子。
UV光氧化原理：UV+O。→O→+O*(活性氧)O+O。→O。臭氧)，众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。
利用电子、离子、自由基和中性粒子小于分子，能够顺利进入分子内部，打开分子链，破坏分子结构的原理，以每秒钟300万至3000万速度的等量发射和回收，轰击工业废气中的化学物质分子，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，将有害物质化为无害物质。适合低浓度的工业废气净化。
