特征
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量程范围0.5sccm~5000slpm
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高精度（可溯源）±0.5%~±1.0%读数精度
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快速响应100ms无需预热
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更改气体介质、调整混合气体比例触屏式操作修改部分参数信息
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高可靠性高抗过载、电磁干扰能力
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适用范围宽温度、压力
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宽量程比100:1
应用领域
技术参数
| 型 号 |
PIG-S101 PIG-S201 |
PIG-S102 PIG-S202 |
PIG-S120 PIG-S220 |
PIG-S150 PIG-S250 |
| 流量规格 |
0.5、1、2 、 5 、10、20SCCM |
50、100、200 、 500、1000 、2000SCCM |
5、10 、20 、 50 、100 、200 SLPM |
500、1000、1500、 2000、3000、4000、5000SLPM |
| 性能参数 | ||
|---|---|---|
| 准 确 度 |
S100：±1%RD （20%～100%量程范围） 或 ±0.2％F.S.（≤20%量程范围）（RD-读数 F.S.-满量程） S100-WR：±1%RD （10%～100%量程范围） 或 ±0.1％F.S.（≤10%量程范围）（RD-读数 F.S.-满量程） |
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| 重复精度 |
±0.2%F.S. |
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| 温度漂移 | Zero：≤±0.01%F.S./℃ Span：≤±0.01%F.S./℃（基准温度20℃） | |
| 工作范围 | 1%～100%F.S.(最大可达120%F.S.) | |
| 使用条件 | |
|---|---|
| 使用温度范围 | -20℃～60℃ |
| 使用湿度范围 | 0%～98%（无冷凝） |
| 耐 压 | 1.5MPa |
| 最大工作压力 | 1MPa |
| 供电电压 | ＋（18～30）VDC |
| 消耗电流 | < 150mA（＜3W） |
| 安装方式 | 无指定（任意角度） |
| 接气部材质 | SUS316L |
| 显示方式 | 彩色LCD触摸屏 |
| 输出方式 | 模拟：（4～20）mA；数字：RS485 |
